關(guān)于凈化工程概述

現(xiàn)如今，潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各個產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程不相同，使用要求不一樣，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設(shè)計不僅要求對室內(nèi)的空氣進行凈化達到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染，有的無塵車間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。

在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。

控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。

一、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。

長處：構(gòu)造簡樸、系統(tǒng)建造本錢低，潔凈室的擴充比較輕易，在某些特殊用途場所，可并用無塵車間，進步潔凈室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)休止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相稱長一段時間。

二、層流式

層流式空氣氣流運動成一平均之直線型，空氣由籠蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)峻。

長處：構(gòu)造簡樸，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成不亂。

缺點：建造用度比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。

長處：治理輕易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達不亂狀態(tài)，不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。

缺點：構(gòu)造用度較高，彈性運用空間難題，天花板之吊架相稱占空間，維修更換過濾器較麻煩。

三、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之 工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔 凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化出產(chǎn)線為最相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

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